X射线荧光光谱仪道理及重要技能目标比拟

2022-11-16 15:52:59 作者:﹎從噺幵ㄝ台
导读:X射线荧光光谱仪原理及主要技术指标对比,X射线荧光光谱仪原理及主要技术指标对比X荧光光谱仪主要由激发源(X射线管)和探测系统构成。其原理就是:X射线管通过产生入射X射线(一...
波长色散型X射线荧光光谱仪

X射线荧光光谱仪道理及重要技能指标比拟

X荧光光谱仪重要由引发源(X射线管)和探测体系组成。其道理便是:X射线管通过孕育发生入射X射线(一次X射线),来引发被测样品。 受引发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线(又叫X荧光),而且差别的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。探测体系丈量这些放射出来的二次X射线的能量及数目大概波长。然后,仪器软件将探测体系所网络到的信息转换成样品中种种元素的种类及含量。 元素的原子受到高能辐射引发而引起内层电子的跃迁,同时放射出具有必然特别性波长的X射线,是以,只要测出荧光X射线的波长大概能量,就可以知道元素的种类,这便是荧光X射线定性阐发的底子。别的,荧光X射线的强度与相应元素的含量有必然的干系,据此,可以举行元素定量阐发。用X射线照耀试样时,试样可以被引发出种种波长的荧光X射线,必要把混淆的X射线按波长(或能量)离开,分别丈量差别波长(或能量)的X射线的强度,以举行定性和定量阐发,为此利用的仪器叫X荧光光谱仪。因为X荧光具有必然波长,同时又有必然能量,是以,X射线荧光光谱仪有两种根本范例:波长色散型和能量色散型。

下图是这两类仪器的道理图。

能量色散荧光光谱仪

能量色散法是将X射线引发被测全部元素的荧光简洁过滤后,全部进入到检测器中,使用仪器和软件来分出此中的光谱。如测的为元素周期表中相邻的两个元素,会因光谱重叠而孕育发生丈量偏差。能量色散型仪器最大的长处是不粉碎被测的质料或产物,也不必要专业职员操纵,缺点是对铬和溴是总量测定(普通不影响利用,由于许多情形可以鉴定,如测铬总量超标,常可知是不是六价铬超标,格外是溴,如被作为阻燃剂参加,不管是那种溴,总量超标就分歧格)。

北京欧倍尔分子荧光光谱仪拆分3D虚拟仿真软件

波长色散荧光光谱仪

波长法是因其引发出的荧光充足强,进到仪器中用来阐发的光谱是单一元素(“过滤”了不需测的元素),不含别的元素的光谱,以是丈量数据很正确。这种仪器的敏锐度比能量色散型高一个数目级,也便是说,所测的数据并不存在“灰色地区”,不存在测定后还需拿到检测机构复检。缺点是,波长法需将被测质料破坏压抑成样本后测才正确。以是,用在质料厂最得当。如不制成样本(非粉碎),会因质料外貌形状差别而孕育发生差别偏差。仪器操纵也不必要专业职员。

能量色散光谱仪(ED-XRF)和波长色散光谱仪(WD-XRF)比力

项目

波长色散型X荧光

能量色散型X荧光

道理

X荧光经晶体分光,在差别衍射角丈量差别元素的特性线

X荧光直接进入检测器,经电子学体系处置惩罚得到差别元素(差别能量)的X荧光能谱

布局

为餍足全波段必要,设置装备摆设多块晶体,依据单道扫描和多道同时测定的必要,设置扫描机谈判多少牢固通道

无扫描机构,只用一个检测器和多道脉冲阐发器,布局简洁得多,无转动件,可靠性高

X光管

高功率,要高容量冷却体系,X光管寿命短

功率低,不需冷却水,X光管寿命长

检测器

正比计数器,和λ、晶体、检测器有关

Si(pin)/SDD

敏锐度

Ug/g级

轻基体ug/g级,别的10~102ug/g级

正确度

取决于标样

取决于标样

周密度

很好

低浓度时不如WD

体系稳健性

需作周期性漂移校正,定期作事情曲线

好,事情曲线可永劫间利用

便利性

普通

阐发速率

单道慢,多道快

职员要求

较高

普通

样品外貌

要求平展

要求不高

代价

¥120~250万/台(此中单道¥120~180万/台)

¥30~70万/台

现将两种范例X射线光谱仪的重要部件及事情道理论述如下:

  1. X射线管

两种范例的X射线荧光光谱仪都必要用X射线管作为引发光源。上图是X射线管的布局表示图。灯丝和靶极密封在抽成真空的金属罩内,灯丝和靶极之间加高压(普通为40KV),灯丝放射的电子经高压电场加快撞击在靶极上,孕育发生X射线。X射线管孕育发生的一次X射线,作为引发X射线荧光的辐射源。只有当一次X射线的波长稍短于受激元素汲取限lmin时,才气有用的引发出X射线荧光。笥?SPAN lang=EN-US>lmin的一次X射线其能量不敷以使受激元素引发。       
  X射线管的靶材和督工作电压决定了能有用引发受激元素的那部门一次X射线的强度。督工作电压升高,短波长一次X射线比例增添,故孕育发生的荧光X射线的强度也加强。但并不是说督工作电压越高越好,由于入射X射线的荧光引发服从与其波长有关,越靠近被测元素汲取限波长,引发服从越高。
  X射线管孕育发生的X射线透过铍窗入射到样品上,引发出样品元素的特性X射线,正常事情时,X射线管所斲丧功率的0.2%左右变化为X射线辐射,别的均变为热能使X射线管升温,是以一定不停的通冷却水冷却靶电极。

2.分光体系

分光体系的重要部件是晶体分光器,它的作用是通过晶体衍射征象把差别波长的X射线离开。依据布拉格衍射定律2dsinθ=nλ,当波长为λ的X射线以θ角射到晶体,假如晶面间距为d,则在出射角为θ的偏向,可以观察到波长为λ=2dsinθ的一级衍射及波长为λ/2, λ/3等高级衍射。转变θ角,可以观察到别的波长的X射线,因而使差别波长的X射线可以离开。 分光晶休靠一个晶体扭转机构动员。由于试样位置是牢固的,为了检测到波长为λ的荧光X射线,分光晶体转动θ角,检测器一定转动2θ角。也便是说,必然的2θ角对应必然波长的X射线,一连转动分光晶体和检测器,就可以吸收到差别波长的荧光X射线见(图10.5)。一种晶体具有必然的晶面间距,因而有必然的应用范畴,现在的X射线荧光光谱仪备有差别晶面间距的晶体,用来阐发差别范畴的元素。上述分光体系是寄托分光晶体和检测器的转动,使差别波长的特性X射线接次序被检测,这种光谱仪称为次序型光谱仪。别的另有一类光谱仪分光晶体是牢固的,混淆X射线颠末分光晶体后,在差别偏向衍射,假如在这些偏向上安置检测器,就可以检测到这些X射线。这种同时检测不波长X射线的光谱仪称为同时型光谱仪,同时型光谱仪没有转动机构,因而性能稳健,但检测器通道不克不及太多,得当于牢固元素的测定。

别的,另有的光谱仪的分光晶体不消平面晶体,而用弯曲晶体,所用的晶体点阵面被弯曲成曲率半径为2R的圆弧形,同时晶体的入射外貌研磨成曲率半径为R的圆弧,第一狭缝,第二狭缝和分光晶体安排在半径为R的圆周上,使晶体外貌与圆周相切,两狭缝到晶体的间隔相称(见图10.6),用多少法可以证明,当X射线从第一狭缝射向弯曲晶体各点时,它们与点阵平面的夹角都雷同,且反射光束又重新会聚于第二狭缝处。由于对反射光有会聚作用,是以这种分光器称为聚焦法分光器,以R为半径的圆称为聚焦圆或罗兰圆。当分光晶体绕聚焦圆圆心转动到差别位置时,得到差别的掠射角θ,检测器就检测到差别波长的X射线。固然,第二狭缝和检测器也一定作相应转动,并且转动速率是晶体速率的两倍。聚焦法分光的最大长处是荧光X射线丧失少,检测敏锐度高。

3.检测记载体系

X射线荧光光谱仪用的检测器有流气正比计数器和闪耀计数器。上图是流气正比计数器布局表示图。它重要由金属圆筒负极和芯线正极构成,筒内充氩(90%)和甲烷(10%)的混淆气体,X射线射入管内,使Ar原子电离,天生的Ar+在向阴极活动时,又引起别的Ar原子电离,雪崩式电离的效果,孕育发生一脉冲信号,脉冲幅度与X射线能量成正比。以是这种计数器叫正比计数器,为了包管计数器内所充气体浓度稳定,气体一向是连结流淌状态的。流气正比计数器实用于轻元素的检测。

别的一种检测装置是闪耀计数器如上图。闪耀计数器由闪耀晶体和光电倍增管构成。X射线射到晶体后可孕育发生光,再由光电倍增管放大,得到脉冲信号。闪耀计数器实用于重元素的检测。除上述两种检测器外,另有半导体探测器,半导体探测器是用于能量色散型X射线的检测(见下节)。如许,由X光引发孕育发生的荧光X射线,经晶体分光后,由检测器检测,即得2θ-荧光X射线强度干系曲线,即荧光X射线谱图,下图是一种合金钢的荧光X射线谱。

4. 能量色散谱仪
  以上先容的是使用分光晶体将差别波长的荧光X射线离开并检测,得到荧光X射线光谱。能量色散谱仪是使用荧光X射线具有差别能量的特点,将其离开并检测,不必利用分光晶体,而是寄托半导体探测器来完成。这种半导体探测器有锂漂移硅探测器,锂漂移锗探测器,高能锗探测器等。X光子射到探测器后形成必然数目的电子-空穴对,电子-空穴对在电场作用下形成电脉冲,脉冲幅度与X光子的能量成正比。在一段时间内,来自试样的荧光X射线依次被半导体探测器检测,得到一系列幅度与光子能量成正比的脉冲,经放大器放大后送到多道脉冲阐发器(通常要1000道以上)。按脉冲幅度的巨细分别统计脉冲数,脉冲幅度可以用X光子的能量标度,从而得到计数率随光子能量改变的漫衍曲线,即X光能谱图。能谱图经盘算机举行校正,然后表现出来,其形状与波谱雷同,只是横座标是光子的能量。
  能量色散的最大长处是可以同时测定样品中险些全部的元素。是以,阐发速率快。另一方面,因为能谱仪对X射线的总检测服从比波谱高,是以可以利用小功率X光管引发荧光X射线。别的,能谱仪没有光谱仪那么庞大的机器机构,因而事情稳健,仪器体积也小。缺点是能量辨别率差,探测器一定在低温下储存。对轻元素检测困难。

5.样品制备
  举行X射线荧光光谱阐发的样品,可所以固态,也可所以水溶液。无论什么样品,样品制备的情形对测定偏差影响很大。对金属样品要细致成份偏析孕育发生的偏差;化学构成雷同,热处置惩罚历程差别的样品,得到的计数率也差别;身分不匀称的金属试样要重熔,快速冷却后车成圆片;对外貌不屈的样品要打磨抛光;对付粉末样品,要研磨至300目-400目,然后压成圆片,也可以放入样品槽中测定。对付固体样品假如不克不及得到匀称平坦的外貌,则可以把试样用酸溶解,再沉淀成盐类举行测定。对付液态样品可以滴在滤纸上,用红外灯蒸干水份后测定,也可以密封在样品槽中。总之,所测样品不克不及含有水、油和挥发性身分,更不克不及含有腐化性溶剂。

6.定性阐发
  差别元素的荧光X射线具有各自的特定波长,是以依据荧光X射线的波长可以确定元素的构成。假如是波长色散型光谱仪,对付必然晶面间距的晶体,由检测器转动的2θ角可以求出X射线的波长λ,从而确定元素身分。究竟上,在定性阐发时,可以靠盘算机主动辨认谱线,给出定性效果。但是假如元素含量过低或存在元素间的谱线滋扰时,仍需人工辨别。起首辨认出X射线管靶材的特性X射线和强峰的陪同线,然后依据2θ角标注剩斜谱线。在阐发未知谱线时,要同时思量到样品的泉源,性子等身分,以便综合推断。

7.定量阐发
  X射线荧光光谱法举行定量阐发的依据是元素的荧光X射线强度I1与试样中该元素的含量Wi成正比: Ii=IsWi
式中,Is为Wi=100%时,该元素的荧光X射线的强度。依据上式,可以采纳尺度曲线法,增量法,内标法等举行定量阐发。但是这些要领都要使尺度样品的构成与试样的构成尽大概雷同或相似,不然试样的基体效应或共存元素的影响,会给测定效果造成很大的毛病。所谓基体效应是指样品的根本化学构成和物理化学状态的改变对X射线荧光强度所造成的影响。化学构成的改变,会影响样品对一次X射线和X射线荧光的汲取,也会转变荧光加强效应。比方,在测定不锈钢中Fe和Ni等元素时,因为一次X射线的引发会孕育发生NiKα荧光X射线,NiKα在样品中大概被Fe汲取,使Fe引发孕育发生FeKα,测定Ni时,由于Fe的汲取效应使效果偏低,测定Fe时,因为荧光加强效应使效果偏高。但是,设置装备摆设雷同的基体又险些是不行能的。为降服这个题目,现在X射荧光光谱定量要领普通采纳根本参数法。该方法是在思量各元素之间的汲取和加强效应的底子上,用标样或纯物质盘算出元素荧光X射线理论强度,并测其荧光X射线的强度。将实测强度与理论强度比力,求出该元素的敏锐度系数,测未知样品时,先测定试样的荧光X射线强度,依据实测强度和敏锐度系数设定初始浓度值,再由该浓度值盘算理论强度。将测定强度与理论强度比力,使两者到达某一预定精度,不然要再次修正,该法要测定和盘算试样中全部的元素,而且要思量这些元素间相互滋扰效应,盘算非常庞大。是以,一定寄托盘算机举行盘算。该要领可以以为是无标样定量阐发。当欲测样品含量大于1%时,其相对尺度毛病可小于1%。

X射线荧光光谱仪重要技能指标比拟

项目

XRF 型号

S8 TIGER

ZSX Primus/ZSX Primus II

AXIOS/(AXIOS-ADVANCED)

ADVANT’XP+

XRF1800

生产厂家

德国布鲁克AXS公司
(原德国西门子axs)

日本理学公司

荷兰帕纳科公司

(原荷兰飞利浦公司)

赛默飞世尔

(原瑞士ARL公司)

日本岛津公司

推出时间

2007

2003

2004

2000

1997

最大功率

4 kW

4 kW

4 kW

4.2 kW

4 kW

最大电流

170 mA

150 mA

125mA(160mA)

120 mA(140mA选项)

140 mA(150mA选项)

最大电压

60 kV

60 kV

60 kV

60 kV(70Kv)

60 kV

电流、电压快速切换功效

能,而且能等功率或非等功率切换,遇含量很高的样品时,可自由调治功率

只能等功率切换,遇含量很高的样品时, 必要利用衰减器

只能等功率切换,遇含量很高的样品时,必要利用滤光片

只能等功率切换,遇含量很高的样品时,必要利用滤光片

只能等功率切换,遇含量很高的样品时,必要利用衰减器

可否满功率运行

能,并能恒久满功率运行

不克不及

不克不及

不克不及

不克不及

产生器范例

固态式,模块化设计

油箱式

固态式,一体化设计

固态式,一体化设计

油箱式

产生器稳健性

外电压颠簸1%时为 优于000005%

外电压颠簸1%时为 00005%

外电压颠簸1%时为 000006%

外电压颠簸1%时为 00001%

外电压颠簸1%时为 00005%

X

低温光管技能

光管头部增添冷却回路,丈量液体、低熔点样品非常宁静。灯丝无挥发,光管发光强度不衰减

铍窗厚度

75μm(50μm可选)

75μm(30μm可选)

75μm(50μm可选)

75μm(50μm可选)

75μm

绝缘方法

陶瓷

玻璃

陶瓷

陶瓷

玻璃

样品照耀方法

下照式,可测液体

下照式,可测液体/上照耀

下照式,可测液体

下照式,可测液体

上照式,不克不及测液体

低级光途经滤器

10位

4位

4位

3位

5位

滤光片数目

7块

4块

3块

3块

4块

样品收支仪器时爱护光管的污染防护屏1

1块

样品收支仪器时爱护光谱室的污染防护屏2

1块(选项)

XRF 型号

S8 TIGER

ZSX Primus

AXIOS

ADVANT’XP+

XRF1800

丈量历程中爱护光管的防污染铍断绝膜

DuraberylliumTM 高强度铍断绝膜(选项)

有(选项),但一定去失一块滤光片才气安置此铍窗

丈量历程中爱护光谱室防备污染以及在差别范例样品间快速切换、节省氦气斲丧的真空封挡,

封挡质料

高透光性、高强度的高分子质料

低透光性铍窗

低透光性铍窗

准直器面罩尺寸

34mm, 28mm, 23mm, 18mm,8mm, 5mm

35mm, 30mm, 20mm, 10mm,1mm, 0.5mm

37mm,30mm, 27mm, 20mm, 10mm, 6mm

38mm, 29mm, 15mm

30mm, 20mm, 10mm,3mm, 0.5mm

准直器互换器位数

最多可安置4个准直器(细、中、粗、超粗),共6种准直器规格可选购

最多可安置3个准直器(细、中、粗)

最多可安置3个准直器(细、中、粗)

最多可安置4个准直器(细、中、粗、超粗)

最多可安置3个准直器(细、中、粗)

晶体互换器位数

8位,16种晶体可选

10位,14种晶体可选

8位,14种晶体可选

9位,

10位,12种晶体可选

弯晶

Ge弯晶,PET弯晶

Ge弯晶,PET弯晶

丈量Al、Si、P、S元素具有最好的恒久稳健性、没有PET简单潮解和老化征象,是水泥、矿物、玻璃、地质、铝业应用的专用晶体

XS-CEM晶体

光谱室温度稳健性

±0.05℃

±0.1℃

±0.05℃

±0.3℃

±0.3℃

测角仪

定位方法

θ/2θ分别驱动,光学定位体系

θ/2θ分别驱动,机器定位

θ/2θ分别驱动,直接光学位置传感器DOPS体系

θ/2θ分别驱动,莫尔条纹定位

θ/2θ分别驱动,机器定位

最小步长

0.0005°



0.001°

0.002°

XRF 型号

S8 TIGER

ZSX Primus

AXIOS

ADVANT’XP+

XRF1800

角度正确度

< +/-0.001°

+/- 0.005°

+/- 0.0025°

+/- 0.002°


角度重现性

< +/-0.0001°

+/- 0.0005°

+/- 0.0001°

+/- 0.0002°

+/- 0.0003°

最大扫描速率

1200°/分

240°/分

°/分

327°/分

300°/分

最大转角速率

2400°/分

1400°/分

°/分

4800°/分

1200°/分

检测体系

计数器范例

流气正比FC、关闭正比SFC、闪耀SC

流气正比FC、闪耀SC

流气正比FC(可串联关闭正比SFC)、闪耀SC

流气正比FC、闪耀SC

流气正比FC、闪耀SC

计数器窗膜厚度

0.6μm

0.6μm

1.0μm

0.9μm

1.0μm

多道阐发器

512道


512道

512道


FC &SFC

线线性范畴

大于3Mcps

最大2Mcps

最大3Mcps

最大2Mcps

最大2Mcps

动动态立室TM技能

大于10Mcps

转转动范畴

17 ~ 152°

13 ~ 148°

13 ~ 148°

17 ~ 153°

7 ~ 148°

SC

线线性范畴

大于2.0Mcps

1.5Mcps

1.5Mcps

1.5Mcps

1Mcps

动动态立室TM技能

大于10Mcps

转转动范畴

0 ~ 115°

5 ~ 118°

8 ~ 104°

0 ~ 115°

0 ~ 118°

进样体系

软件

样品最大尺寸

Φ52x47mm

Φ52x47mm

Φ51x40mm

Φ52x30mm

Φ51x38mm

样品自旋速率

30转/分

30转/分

30转/分

30转/分

60转/分

主动进样器

样品放在样品盒中丈量时,最多可放60个样品;直接将40mm直径的样品放在进样器上时,可放108个样品;样品盒和直接放样的混淆进样器可放82个样;托盘式进样器可放75个样品。

48位X-Y二维进样器

最多可放8个进样条,当样品放在样品盒中丈量时,最多可放64个样品;当直接将25mm直径的熔片样安排在进样条上时,最多可放168个样。

1位手动;12位转盘进样器;98位X-Y二维进样器

8位转盘进样器

样品范例主动辨认功效

XRF 型号

S8 TIGER

ZSX Primus

AXIOS

ADVANT’XP+

XRF1800

定性、定量阐发软件

SPECTRAplus V2阐发软件

SuperQ

WinXRF

无标样阐发软件

QUANT EXPRESSTM无标样软件包,有扫描丈量模式、定点丈量模式和联合丈量模式

SQX无标样阐发软件,只有扫描丈量模式,没有定点丈量模式

IQ+无标样软件,有扫描丈量模式和定点丈量模式

QuantAS为扫描丈量模式

Uniquant为定点丈量模式

只有扫瞄丈量模式

无标样阐发速率

最快小于2分钟

最快15分钟以上

最快2分钟以上

最快10分钟以上

最快15分钟以上

定量阐发与无标样阐发联合模式

动态立室TM技能

理论α系数法

履历α系数法

变更理论α系数法

厚度修正功效

制样要领修正

自诊断软件

S8 Tools 软件

长途诊断

长途办事-维护-支持软件

多层膜阐发软件

MLPLUS

氧化物阐发软件

GEO-QUANT M软件

WROXI氧化物软件包

地质样品中微量元素专用阐发软件

GEO-QUANT T软件

Pro-trace软件

水泥阐发软件

CEMENT-QUANT软件

RoHS/WEEE软件

RoHS-QUANT软件

油品阐发专用软件

PETRO-QUANT软件


金属质料阐发软件

METAL-QUAN软件

NiFeCo软件包,铜基软件包


XRF 型号

S8 TIGER

ZSX Primus

AXIOS

ADVANT’XP+

XRF1800

盘算机

主机

戴尔盘算机,四核,最新设置装备摆设

盘算机国内供货

戴尔盘算机,双核,最新设置装备摆设

盘算机国内供货

盘算机国内供货

表现器

19"液晶

19"液晶

19"液晶

19"液晶

17"液晶


通例操纵第二操纵盘算机

触屏操纵TM

宁静尺度


质量及宁静认证

通过ISO9001及EN29001认证

通过ISO9001认证

通过ISO9001认证

通过ISO9001认证

通过ISO9001认证

欧洲宁静认证

通过CE认证

未通过CE认证

通过CE认证

通过CE认证

未通过CE认证

射线防护认证

DIN 54113等





尺寸

高x宽x深(mm)

1350 x 840 x 1040


1510 x 840 x 980

9400 x 830 x 1090

1770 x 1080 x 1350

重量

千克

476kg


550kg

450kg

760kg

斯派克便携式X射线荧光光谱仪SPECTROSCOUT
精彩图集