安东帕低温高实空超纳米压痕仪 UNHT³ HTV

高温超纳米压痕测试仪 (UNHT3 HTV)

环球第一台真正意义的商品化的高温高真空超纳米压痕仪，重要丈量小载荷下纳米标准机器性能的测试体系，温度在 800 °C 以下的薄膜和涂层的硬度和弹性模量。专利 UNHT3 技能与奇特的加热功效联合，可提供在任何温度下的高稳健性丈量办理方案。

重要特点 新一代的高温纳米压痕测试仪

• 情况条件下最低热漂移 (< 0.5 nm/min) 和整个温度范围内最低热漂移 (< 3 nm/min)。
• 最高载荷框架刚度 (>>106 N/m) 和最低框架柔度 (<<0.1 nm/mN)：两套独立的位移和载荷传感器与高精度电容传感器结合，可选择“控制位移”和“载荷控制”模式。
• 高真空体系具有 5 轴磁悬浮涡轮泵暖和冲体系，许可在丈量时期封闭低级泵，使振动降至最低。
• 奇特的加热操纵体系（3 项专利待批），采纳3 个红外 (IR) 加热器分别用于给压痕针尖、参比针尖和样品举行加热，以及 4 个热电偶用于将样品外貌温度操纵到 改变在0.1°C 内。
• 切合 ISO 14577 和 ASTM E2546 国际尺度

技能指标

载荷

最大载荷100 mN

载荷辨别率 6 nN

本底噪音 0.5 [rms] [μN]*

位移

最大位移100 μm

位移辨别率0.006 nm

本底噪音0.15 [rms] [nm]*

极限真空度10? mBar

最高温度800 °C