实空体系设想（高实空低电压电极引入布局）

真空体系是指由真空泵、真空计及种种零件通过管道以得当的方法联接，组合成能到达必然真空度要求的装置。真空体系的根本要求是都有哪些？

3.4 电输人密封毗连

3.4.2.2 高真空低电压电极引入布局

高真空低电压电极惹人布局常用于真空镀膜设置装备摆设、真空冶炼炉、真空焊接炉及其他真空炉和种种真空蒸发(升华)装置上。其密封方法有两种:一种为金属封接-金属封接布局，用于超高真空体系中;另种是橡胶密 封布局用于高真空体系。

图3-97各 种布局形状的芯柱密封

(a)双导线平芯柱; (b) 6导线平芯柱; (c) 双单线和双多线的平芯柱;

(d) T形芯柱; (e) X形芯柱; (f) H形芯柱; (g) U形芯柱; (h) 0形芯柱

图3-98 销钉密封

(a)盘形; (b)杯形

A低电压小电流引入电极

低电压小电流惹人电极布局如图3-99和图3- 100所示。

图3-99牢固 型低电压小电流电极

1一电极杆; 2- 真空室体; 3- 锥形密封绝缘体;

4- 有机玻璃压盖;5-垫圈; 6-螺母; 7一压盖螺钉

图3-100插入型低电压小电流电极

1一 螺母; 2一牢固螺母; 3-引入电极:

4-垫圈;5-绝缘套; 6-密封圈; 7-真空室体

B低电压大电流引入电极

图3-101 ~图3- 105所示为低电压大电流的电极密封布局。图3- 101 (a)所示为可转动式电极，图3-101 (b)、 (c) 所示为牢固布局式惹人电极。图3- 102所示为用于真空电炉的可起落和可倾斜式电极。图3-103所示为用于真空电炉的可移动式低电压大电流输人电极。图3- 104所示为真空电阻炉所用的接线挂式镍铬电加热大电流输人电极密封布局。为了防备大电流电极事情时孕育发生过热征象，图3-103 ~图3- 105所示的电极布局中均设有水冷布局，供水和回水均在真空室外举行。

图3- 106和图3- 107所示电极布局为牢固型低电压超大电流输人电极密封布局，其可承载的输人电流可达几千安培，实用于必要大功率电阻加热电输人的真空体系中。图3- 107所示为水冷式超大电流输人电极布局，其输人电流为4000A。

图3-101低电压大电流电极

图3- 102低电压大电流可 起落可倾斜电极

1-上传动支架; 2- 螺母; 3-垫; 4, 11, 13- 密封圈;

5, 12- -压环; 6- 弹簧; 7-托架(两半);8-倾斜球体;

9-胶木垫; 10-压盖; 14- 电极; 15-毡垫; 16- 螺钉; 17-炉盖

图3-103可 移动低电压大电流水冷电极

1-真空电炉盖; 2- 绝缘体; 3-真空密封圈:4- 密封圈支持环;

5- 支持环; 6-隔环; 7一压盖: 8一电极杆: 9-水冷密封座;

10一密封圈; 11-压环; 12- 螺母